在修理真空設備或真空泵之前，首先應摸清它的底細，即該泵制造工藝情況、使用情況、原始參數數據、目前狀況、故障前的使用環境、負荷狀況、故障現象等，然后根據操作使用者的反映，以及親自觀察和試抽測所掌握的第一手資料，建立起該設備的檔案卡片。記載下所了解的情況和維修簡歷，綜合判斷該泵故障原因和部位，對癥下藥。
當然，因為真空設備使用情況多種多樣，所以故障情況也就千差萬別，表現形式各不相同.有的從外表檢查就能找出其故障所在;有的只要加油換油，調節油路即可解決;毛病較大的，局部拆修，也可找出故障所在，加以修理即可排除;而故障嚴重的，則必須大修，全部拆洗、檢查，修配零部件后才能修好;對那些維護不善的真空設備(或泵).已達“病入膏育”的程度，則只有報廢。由此看來，真空設備的修理很難有一固定的程序。但根據許多老師傅們的多年實踐經驗，認為只要掌握下述操作技術，多從實踐中總結體會維修要領，真空設備的一些故障也就不難排除了。
總的說來，修理一臺真空泵，必須掌握下述步驟的操作要領：試抽測，加油換油，局部拆修，全拆修，清洗，側量間隙尺寸和零件公差，鏟刮研磨，修制配件(包括會排出加工零部件的車、銑、刨、磨工藝)，總裝配，運轉測試，鑒定設備的性能。
在修理某一臺真空泵時，這些操作技術不一定全部都用到，要看具體情況，根據需要進行。