站在節(jié)能減排的高度審視傳統(tǒng)的有油真空泵系統(tǒng)是每個(gè)真空業(yè)者當(dāng)今必須正視的問題。傳統(tǒng)的無油概念僅僅是為了獲得清潔的、無碳?xì)浠镂廴镜恼婵窄h(huán)境。今天的“無油”除滿足工藝要求的清潔的真空環(huán)境外，對(duì)外排氣還要保護(hù)環(huán)境，杜絕廢油廢氣的污染與排放。
傳統(tǒng)的有油真空系統(tǒng)(2X型旋片式真空泵)，能源利用率普遍較低，其中尤以油增壓泵油擴(kuò)散泵為甚，簡(jiǎn)直就是“電老虎”，正是在此背景下，分子泵得以大行其道，在φ400 mm以下的區(qū)域內(nèi)大有取代傳統(tǒng)擴(kuò)散泵之勢(shì)。同為φ250mm的泵，擴(kuò)散泵功率比分子泵的大五倍，可見能源浪費(fèi)之大。長(zhǎng)此下去，有油真空系統(tǒng)的市場(chǎng)空間勢(shì)必越走越窄。
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